AE הכריזה על מערכת חשמל לתהליכי פלזמה מהפכנית ומרחיבה את היכולות של התאמת
המצב המוצק ופתרון הגנרטור RF
וההתאמה המשולב המובילים שלה
דנוור, קולורדו, 6 באוגוסט 2020,
(BUSINESS WIRE):
Advanced Energy
(Nasdaq: AEIS) - מובילה גלובלית בפתרונות מדויקים ומאוד
מתוכננים של המרת חשמל, מדידה ובקרה - הודיעה שחשפה שלושה פתרונות חדשים לעיבוד
פרוסות שבבים של צומתי טכנולוגיה מתקדמים
בכנס הווירטואלי SEMICON® West 2020 שהתקיימה
בין 20 ו-23 ביולי.
"ייצור השבבים
גדל ומשתנה במהירות עם עלייתה של המהפכה התעשייתית הרביעית. AE
נמצאת בחזית עם פתרונות חשמל שמאפשרים תכונות קטנות יותר, תהליכים מהירים יותר,
בקרה הדוקה יותר ועלות בעלות נמוכה יותר, שהלקוחות שלנו מסתמכים עליהם כדי לייצר
את השבבים שמזינים את כלכלת הנתונים", אמר פיטר גילספי, סגן נשיא ומנהל כללי,
שבבים, Advanced
Energy. החשמל בתהליכים, שבעבר היה כמעט חבוי מהעין, מוכר עכשיו יותר
ויותר כמאפשר קריטי בעיבוד של פרוסות. אנחנו מצפים לשתף את המוצרים שלנו
"שמחשמלים את התהליך", וגם להציג, בפעם הראשונה, מוצרים "שמחשמלים
את הפלטפורמה" עם תיק מוצרי החשמל המשובץ של ארטזין של AE.
AE הציגה
פתרונות חדשים רבי ערך של מערכות שמשנים את האופן שבו תהליכי פלזמה מקבלים חשמל:
eVoS™ LE: AE הציגה
את פלטפורמת eVoS שלה, טכנולוגיית חשמל לפלזמה לא סינוסואידית
חדשה לגמרי שמאפשרת בקרת אנרגיית יונים מאוד ממוקדת, שנעשית יותר ויותר חשובה
בתהליכי צריבה ודפוזיציה מתקדמים שמשמשים ליצירת תכונות מכשירים בחזית הקידמה ב-5nm
ומטה. eVoS,
שמהווה חלופה לחשמל לפלזמה עם נטאי RF סינוסואידי קונבנציונלי שמשתמש במערכות
מורכבות עם תדירויות מרובות, מיועדת להפיק פיזורי אנרגיית יונים צרים בהתאמה
ספציפית בפתרון אחד. הפתרון של AE מאפשר בקרה יותר ישירה על פיזורי אנרגיית
היונים, יותר יעילות של נטאי החשמל ופחות אובדן הספק מאשר הפתרונות
הקונבנציונליים, כל היתרונות שנחוצים כדי ליצור תכונות יותר ויותר מאתגרות לשבבים
תלת מימדיים. eVoS
LE (אנרגיה נמוכה) מציעה בקרת הספק מדויקת ליישומים קריטיים מבוססי
פלזמה, כמו צריבה בשכבה האטומית (ALE), צריבה, ניקוי, דפוזיציה ודפוזיציה בשכבה
האטומית (ALD).
Navigator® II FCi: על בסיס ההצלחה של פלטפורמת
רשת תיאום העכבות שלה המובילה בענף Navigator II, AE הציגה את Navigator II
FCi, רשת תיאום מצב מוצק חדשה ומהירה יותר שמשפרת את טווח הערכים,
המהירות וההכוון בהשוואה למוצרי רשתות תיאום סטנדרטיים. Navigator II FCi
שמבוססת על טכנולוגיית דיודת-PIN מאוד מהירה, משלימה את רשת תיאום המצב המוצק
הראשונה שהגיעה לשוק Navigator II FastCap™ של AE, מרחיבה את טווח ההספק והעכבה ומשפרת את
זמני התגובה לפחות ממילי שניות. ללא חלקים נעים, האמינות וההדירות של Navigator II
FCi עולה על אלה של תיאומי קבלי ריק מסורתיים. Navigator II FCi
זמינה כדי לאפשר יישומי ALE מתקדמים עם יכולות שהורחבו כדי לתמוך במגוון
מתרחב כל הזמן של יישומים כדי לעמוד בדרישות החדשות של השוק. טכנולוגיית הדיודת-PIN
המאוד מהירה זמינה עכשיו גם במערכת הספקת החשמל RF
המשולבת החדשה תיאום וגנרטור, Paramount HFi.
Paramount® HFi: היתרונות של מערכת חשמל RF
משולבת עתירת ביצועים עם עלויות נמוכות, מגיעים בשטח הקטן של Paramount HFi,
שעונה על הדרישות המחמירות ביותר של כלי הדפוזיציה הכי מתקדמים של היום. AE
פיתחה את מערכת ההספקה המשולבת במלואה תיאום וגנרטור הישימה מבחינה מסחרית הראשונה
בתעשייה בשנת 2000 במוצר שלה Apex. Apex הוא עדיין סוס עבודה של חשמל RF
לדפוזיציה, שמסוגל לעבור בין ארבעה מציבים בדידים של טווח הכוון. Paramount HFi
החדשה מרחיבה מאוד את הרעיון הזה עם 32 מצבים של טווח הכוון, מערכת בקרה משופרת
דיגיטלית במלואה וחיישן VI חדש (מטרולוגיית RF).
עם היכולות החדשות האלה וחלון הפעולה המורחב שלה, Paramount HFi
מספקת בקרת תהליכים מתקדמת, נשנות גבוהה, מצב מעורר משותף כדי לסנכרן מערכות
מרובות בתצורות אשכול ופרוטוקול תקשורת מתקדם (EtherCAT). הגודל הקומפקטי של Paramount HFi,
זמני התגובה של מילי שניות והאמינות הגבוהה עושים אותה לאידיאלית לשלבי תהליך
הדפוזיציה עם המשך הקצר של היום, וכשמהירות ואמינות נחשבים יותר ויותר למאפשרים
קריטיים בעיבוד של NAND מתקדם והתקני מחסנית אחרים עם הרבה חזרה.
מומחי המוצרים של AE אירחו
תצוגות מקדימות של מוצרים ופגישות עם משתתפי התערוכה באמצעות הביתן הווירטואלי של AE
במהלך SEMICON
West 2020. בשנתה ה-50 עכשיו, SEMICON West היא אירוע ראשון במעלה של התעשייה שנמשך
ארבעה ימים של מצגות, עם תוכנית עסקית וטכנולוגית של יותר מ-80 שעות ויותר מ-500
מציגים שמספקים את התובנות, החידושים והבינה שארגונים צריכים כדי לאמץ את הסביבה
המשבשת של היום. מחומרים, ציוד, תכנון, ייצור, שילוב מערכות וערוצי ביקוש ועד
לתחומים אנכיים וסמוכים חדשים, המשתתפים מקבלים גישה לטוב ביותר בעסק וזוכים להצצה
לעתיד חדש באופק.
למפרטים טכניים
מפורטים, בקרו בבקשה באתר www.advancedenergy.com.
אודות
Advanced Energy
Advanced
Energy (Nasdaq: AEIS) היא מובילה גלובלית
בתכנון וייצור של פתרונות מדויקים ומאוד מתוכננים של המרת כוח, מדידה ובקרה
ליישומים ותהליכים קריטיים. פתרונות הכוח של AE מאפשרים ללקוחות חדשנות ביישומים מורכבים במגוון רחב של ענפים כולל ציוד
לייצור שבבים, תעשייה, ייצור, תקשורת, מחשבים במרכזי נתונים ושירותי בריאות. עם ידע הנדסי ושירות ותמיכה מגיבים ברחבי העולם, החברה בונה
שותפויות של עבודה משותפת כדי לתת מענה להתפתחויות הטכנולוגיות, להניע את הצמיחה
אצל לקוחותיה ולחדש את העתיד של הכוח. Advanced
Energy הקדישה יותר משלושה עשורים כדי לשכלל את
הכוח עבור לקוחותיה הגלובליים והמטה שלה נמצא בדנבר, קולורדו, ארה"ב. למידע
נוסף, בקרו באתר www.advancedenergy.com
Advanced
Energy | דיוק. כוח. ביצועים
אין תגובות:
הוסף רשומת תגובה
שים לב: רק חברים בבלוג הזה יכולים לפרסם תגובה.